高频微加速度传感器的动态特性研究

摘要：

用模态分析的理论和方法，对离散的高频微加速度传感器整体结构模型进行了动态响应仿真分析。根据设计需要，对结构施加了平峰阻尼；并对在不同阻尼比条件下，结构的动应力及模态振型进行了分析，给出了改善结构模态振型的阻尼比及硅片表面动应力的分布规律和数值；确定了传感器不受复杂模态干扰的工作频带；为合理的设计传感器的结构给出了动态特性设计依据。

关键词： 微加速度传感器 阻尼比 模态振型 动态特性

作者: 杨文硕 杨利娟 刘传洋

作者单位: 苏州科技学院 电子与信息工程学院,苏州 215011

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009中国仪器仪表与测控技术大会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 128-131

在线出版日期: 2009-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）