一种微机械硅谐振梁加速度计

摘要：

本文介绍了一种MEMS硅谐振梁加速度计的敏感结构设计与加工过程、电路方案和测试结果。敏感结构采用了差动音叉及杠杆增力方案，重点对杠杆结构进行了分析，提出了能够提高增力系数的细颈结构，并优化了杠杆比率。微结构的加工工艺为硅-玻璃键合，体硅深刻蚀工艺。驱动电路采用稳幅自激振荡方案。对整表进行了测试，结果为标度因数为157.5Hz/g，±1g测量范闱内的非线性度为0.083％，加速度噪声达到10.51μg/rtHz。

关键词： 谐振梁加速度计 微机电系统 差动音叉 体硅深刻蚀 硅玻璃键合

作者: 陈志勇 周斌 张嵘

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系,北京 100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009中国仪器仪表与测控技术大会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 456-460

在线出版日期: 2009-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）