基于虚拟仪器的氢化纳米硅薄膜应变系数测量系统的设计

摘要：

氢化纳米硅薄膜是一种具有显著压阻效应的新型半导体薄膜材料。本文应用四点弯曲法并基于虚拟仪器技术设计了氢化纳米硅薄膜应变系数测量平台，该平台利用虚拟仪器技术将测最硬件Agilent 34410A和NI 9237与计算机结合，并通过编程实现纳米硅薄膜在应力作用下的相应电阻变化和应变的测量和数据处理，从而实现纳米硅薄膜应变系数的自动测量。实验结果表明，基于虚拟仪器的纳米硅薄膜应变系数测量系统解决了采用传统的方法无法进行薄膜材料应变系数测量的问题，缩短了薄膜应变系数测量系统的开发时间，提高了测试的自动化程度、测试精度和效率，更重要的是该测量系统的测量结果为纳米硅薄膜在力敏传感器中的应用提供了理论依据。

关键词： 虚拟仪器 纳米硅薄膜 应变系数 四点弯曲法 测量系统 力敏传感器

作者: 潘海彬 潘浩 李伯全 罗开玉 王小飞

作者单位: 江苏大学测控技术与仪器系,镇江 212013 江苏大学微纳米科学技术研究中心,镇江 212013 江苏大学测控技术与仪器系,镇江 212013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009中国仪器仪表与测控技术大会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 510-513

在线出版日期: 2009-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）