精密小角摆三维气浮工作台的研究
精密运动平台是一项通用关键技术。在长度计量中，对运动平台在直线运动中附加的旋转误差提出了较严格要求。为了研制出符合要求的运动平台，本文研究了气体静压轴承承载特性、直线导轨设计原则、三维运动台布局等问题，充分利用气浮导轨精密、低摩擦的优点，完成了一个精密三维气浮台，实现三维全气浮结构和过质心驱动，保证50mm×50mm×2mm全行程内较小的旋转误差。测试结果表明，在X、Y、Z向驱动的情况下，工作台最人偏摆在0.82角秒左右，单轴最优偏摆在±0.04角秒之内，且重复性良好。该成果为计量应用提供了一个性能优良的三维位移平台。
气体轴承 精密运动平台 旋转误差 精密小角摆 三维气浮工作台
卢明臻 高思田 施玉书 杜华 崔建军
中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所,北京 100013
国内会议
哈尔滨
中文
695-699
2009-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）