空心阴极放电等离子体密度分布特性研究

摘要：

利用盘状离子探测器对空心阴极放电等离子体特性进行了研究。结果表明：探测器上电流密度与射频功率、气体流量及空间距离密切相关。探测器中心区域电流密度较高,边缘位置电流密度较低。随射频功率的升高(50W-400W)及空心阴极出口与探测器距离的减小(100mm-10mm),探测器上电流密度逐渐降低。但随着气体流量的增加,电流密度却呈现先增加后降低的趋势。

关键词： 空心阴极 电流密度 射频功率 气体流量 等离子体

作者: 姜海富 田修波 巩春志 杨士勤

作者单位: 哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院 现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009现代焊接科学与技术学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 188-190

在线出版日期: 2009-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）