类金刚石膜Ti，Zr掺杂对DLC性能的影响

摘要：

主要针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点，通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti，Zr金属元素的DLC薄膜，将掺杂Ti，Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较，结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄膜内应力，提高薄膜热稳定性，对于含氢DLC膜，金属的掺杂还提高了薄膜的硬度，但掺杂后的摩擦系数变大。

关键词： DLC膜 类金刚石膜 Ti掺杂 Zr掺杂 磁控溅射

作者: 马国佳 张华芳 武洪臣 孙刚

作者单位: 北京航空制造研究所，高能束流加工技术国防科技重点实验室，北京 100024

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008中国材料研讨会—中美材料国际研讨会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 77-79

在线出版日期: 2008-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）