空气环境下退火温度对连续SiC自由膜结构与发光特性的影响

摘要：

采用熔融纺膜与先驱体转化法相结合制备出连续SiC自由薄膜，研究薄膜在1300，1400，1500℃温度下空气退火处理的氧化行为，以及退火温度对薄膜微观结构、光致发光特性(PL)、硬度和电阻率的影响。 结果表明，SiC薄膜在1300℃具有较佳的抗氧化和发光特性，随着退火温度的升高，薄膜的抗氧化和发光特性略有降低，薄膜中无定型SiOxCy减少，β-SiC晶粒长大及游离碳增多，薄膜表面硬度与电阻率下降，表面惰性致密氧化层的生成保护阻挡氧扩散，从而有效减缓薄膜进一步被氧化。

关键词： SiC自由薄膜 抗氧化性 退火温度 发光特性

作者: 姚荣迁 冯祖德 林宏毅 张冰洁 余煜玺

作者单位: 厦门大学 福建省特种先进材料重点实验室，福建 厦门 361005 厦门大学材料学院，福建 厦门 361005 厦门大学化学化工学院，福建 厦门 361005 厦门大学 福建省特种先进材料重点实验室，福建 厦门 361005 厦门大学材料学院，福建 厦门 361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008中国材料研讨会—中美材料国际研讨会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 241-244,249

在线出版日期: 2008-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）