柔性基底AZO薄膜制备及其红外发射率身性能研究

摘要：

利用反应磁控溅射，用不同掺杂比的锌铝合金靶材，在PI有机柔性基底表面制备了附着力良好、电阻率低的透明AZO薄膜，利用AFM，XRD、分光光度计、四电子探针等分析测试技术对AZO薄膜的形貌、结构、光电性能等进行了表征。并对性能良好的AZO薄膜在(3～5μm)和(8～14μm)两个大气窗口的红外发射率身性能进行了研究。

关键词： AZO薄膜 磁控溅射 红外发射率 制备工艺 光电性能

作者: 李静 王智勇 何山 望咏林 武建华 陈洁 温培刚

作者单位: 北京航空材料研究院，北京 1O0095

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008中国材料研讨会—中美材料国际研讨会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 293-297

在线出版日期: 2008-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）