试论CMOS集成电路的固有可靠性保证

摘要：

航天、武器、航空、船舶等用户对元器件质量和可靠性的控制早已不仅局限于筛选，而是更加关心其原材料的选择控制、设计分析、工艺控制等整个生产过程。本文在总结国内外CMOS集成电路生产厂和质量保证机构质量保证工作经验的基础上，尝试讨论CMOS集成电路的可靠性保证技术。

关键词： 集成电路 固有可靠性 互补金属氧化物半导体 质量保证

作者: 宁永成 张大宇

作者单位: 中国航天科技集团公司第五研究院电子元器件可靠性中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国国防科技质量与可靠性高峰论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 36-39

在线出版日期: 2010-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）