传感器芯片系统研究与应用
基于微纳制造、微电子等技术的传感器芯片系统具有体积小、质量轻、功耗低、易于批量化生产、成本低、易于集成化等优点,是传感技术领域的一个重要研究方向。近年来相关的研究主要包括微纳传感器芯片、微传感器阵列、多传感器集成芯片系统、传感器与电路集成芯片系统、微流控芯片系统、无线网络传感器节点芯片系统等。文中分别以糖化血红蛋白免疫传感器、催化燃烧气体传感器和电场传感器为例,简要介绍若干典型的生物量、化学量和物理量微传感器系统及其应用。
微型传感器 芯片系统 免疫传感器 催化燃烧 气体传感器 电场传感器
夏善红 张虹 边超 孙楫舟 陈贤祥 彭春荣 董汉鹏 陈庆永 佟建华 郑凤杰
中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室北方基地,北京,100190
国内会议
杭州
中文
6-9
2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）