服务于微电子产业的MEMS新技术

摘要：

UV-LIGA技术是MEMS微细加工中一种非常重要的技术，结合厚胶工艺,可以利用金属电镀的方法制作出各种金属MEMS结构。UV-LIGA技术一方面由于其低温的特点可以很好的与后COMS工艺兼容,被用在片上集成高性能射频无源器件方面。另一方面,还可以将金属电镀工艺与硅微机械技术相结合,制作出用于圆片级测试的微机械探卡。文中主要介绍这种有产业前景的技术及其在器件制作上取得的成果。

关键词： 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械

作者: 程融 蒋珂玮 李昕欣

作者单位: 中科院上海微系统与信息技术研究院传感技术国家重点实验室,上海,200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 12-15

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）