一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作

摘要：

介绍了振动环式陀螺仪的基本工作原理,分析了传统的振动环式陀螺仪所存在的缺陷。并针对这些问题,设计和制作了一种单晶硅式振动环陀螺仪。该陀螺仪采用硅玻璃键合工艺制作,利用振动环作为敏感元件,选取静电激励、电容检测的工作方式。设计陀螺仪的工作频率高于15kHz,以降低了环境对陀螺仪性能的影响。陀螺仪的制作方法简单,只需要2块掩模板,便于批量化生产。

关键词： 单晶硅 振动环陀螺仪 硅玻璃键合工艺 工作频率 静电激励 电容检测

作者: 张明 陈德勇 王军波

作者单位: 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室北方基地,北京,100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 316-317,349

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）