基于MEMS技术的微型热导检测器的研制

摘要：

文中采用MEMS技术加工研制了一种新型热导检测器,这种微型热导检测器采用电阻率高、电阻温度系数大的Pt热敏电阻,利用MEMS技术将Pt薄膜沉积在Pyrex7740玻璃上并通过剥离技术获得热敏电阻,而气体通道以及热导池是通过深刻蚀在硅片上刻蚀得到,热导池的体积为0.4μL。这种热导检测器具有灵敏度高,不受气流影响,不易氧化等特点,适用各种混合气体分离检测。

关键词： 微机械加工技术 热导检测器 热敏电阻 热导池 混合气体 分离检测

作者: 孙建海 崔大付 张璐璐 任艳飞 李辉 陈兴

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 318-320

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）