非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪
针对工业中的表面电势测量应用,研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度,传感器敏感结构基于谐振式工作原理,并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处理技术,研制了传感器的数字化检测系统原理样机。该传感器可实现非接触式表面电势测量,在距离目标表面20mm位置,该传感器最小分辨电压优于10V,精度优于10”％”。文中还进行了摩擦泡沫表面电势的测量,试验结果表明：该传感器可反映表面电势的变化和电荷衰减。
静电压测试 电场传感器 非接触静电压仪 表面电势测量 微机电系统
彭春荣 刘世国 张海岩 郭鑫 夏善红
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190;中国科学院研究生院,北京,100039
国内会议
杭州
中文
321-323
2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）