用于液相检测的微机械扭摆谐振器

摘要：

提出了一种在扭转模态工作的微机械谐振器,与传统的弯曲模态相比,扭转模态能量损耗低,故更适用于液相检测。通过理论建模优化了结构；通过加入合适的补偿电路使谐振器在液体中的Q值达到500；此传感器包含检测扭摆和参比扭摆,对两个摆在闭环下的频率变化进行记录,对两者差分可有效抵消由于温度漂移及非特异性吸附等引起的频率变化。上述结果验证了此种谐振器用于液相检测生物分子的可行性。

关键词： 扭转模态 液相检测 参比扭摆 微机械谐振器

作者: 李翔 陈德勇 王军波

作者单位: 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100190;中国科学院研究生院,北京,100190 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 324-325,338

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）