微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法

摘要：

研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象,通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生,如蒸发干燥法,CO2临界点干燥法,自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘连现象的产生,提高微型电场传感器的成品率。

关键词： 微型电场传感器 结构释放 粘连现象 控制方法

作者: 郭鑫 张海岩 彭春荣 夏善红

作者单位: 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100190;中国科学院研究生院,北京,100190 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 328-329,352

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）