SOI压力传感器及其应用
SOI压力传感器是一种新型的、先进的物性型压力传感器。其采用硅氧化物实现压力芯片的敏感元件和与基片之间的电隔离,替代传统的pn结电隔离技术,打破极限使用温度上限的局限性,不存在微漏电通道,保障在高温条件下长期稳定工作。SOI压力传感器可广泛应用于石油、化工、冶金、航天、航空、船舶等领域的高温压力检测,极好地解决了高温传感器性能指标稳定性差,高低温宽温区的性能兼容性和分散性较大,环境试验适应性差、寿命短和可靠性低等技术难题。
压力传感器 硅氧化物 高温压力检测
孙克 吕艳 张东旭
沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳,110043
国内会议
杭州
中文
398-400,405
2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）