光纤传感器的现状和展望
介绍了SOI压力传感器的特点，简要说明了其关键制备工艺，分析了国内外现状和发展趋势，并列举了石油、化工、航天、航空、船舶等应用领域中的典型技术指标要求。作为一种新型的压力传感器，SOI压力传感器具有明显的优势，而在其使用可靠性、高温性能测试等方面，仍需要进一步研究。本文介绍光纤传感器的主要性能特点及所涉及的领域；近年来光纤传感器技术的发展、应用的现状及其前景展望。
压力传感器 光纤传感器 性能特点 制备工艺
李海燕
沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳,110043
国内会议
杭州
中文
403-405
2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）