电容式空隙率传感器有限元仿真及优化

摘要：

通过有限元软件ANSYS仿真,建立了电容传感器的2D模型,计算了电容传感器的敏感场分布。以敏感场的均匀度为评价函数,基于正交试验法得到了较优的传感器结构。

关键词： 电容传感器 有限元仿真 优化设计 敏感场 均匀度

作者: 周文兴 邓一兵 王伟荣 周抗寒 尹永利

作者单位: 中国航天员科研训练中心,北京,100094

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 69-71

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）