OEM压力传感器零点输出失效原因分析

摘要：

OEM硅压阻压力传感器是采用半导体平面工艺和微机械加工工艺及传感器专用封装工艺制造的，因此不合格传感器的失效原因是很复杂的。在长期从事传感器质量检验过程中,归纳出不合格的主要原因是零点输出发生变化。文中尝试从半导体工艺原理和制造工艺方面对不合格品的失效原因进行分析,并提出相应的改进方法。

关键词： 压力传感器 零点输出 失效原因 制造工艺

作者: 徐淑霞 王彤 胡竞 马文龙 常伟

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳,110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 72-73

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）