一种MEMS谐振梁的热弹阻尼分析

摘要：

热弹阻尼是高Q值微结构器件能量耗散的主要机理,文中介绍解析理论评估热弹阻尼,但此理论只适用于简单模型。对于复杂模型的分析,采用数值计算方法。文中利用有限元分析方法评估一种MEMS谐振器中由于热弹阻尼引起的能量耗散,并考虑电极、材料特性等因素的影响.有限元计算结果与实际实验结果一致性良好,从而为高Q值MEMS谐振器的设计提供了有力的设计方法。

关键词： 微结构器件 MEMS谐振器 热弹阻尼 能量耗散 有限元分析

作者: 周建发 杨贵玉

作者单位: 航天长征火箭技术有限公司,北京,100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 84-86

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）