金属盐掺杂介孔二氧化硅SBA-15的湿敏特性研究
用模板法合成了介孔二氧化硅SBA-15,为了改善其湿敏特性进行了金属盐掺杂。通过扫描电子显微镜(SEM)和XRD对纯质介二氧化硅SBA-15以及不用金属盐掺杂材料的形貌和结构进行了表征，在11”％”RH到95”％”RH的范围内研究了纯SBA-15和不同金属盐掺杂SBA-15材料的湿敏特性。结果表明：适量的金属盐掺杂能很好的提高了介孔硅SBA-15材料的湿敏特性，不同金属盐掺杂SBA-15材料的响应恢复时间也比较迅速,响应时间都在60s以内,而恢复时间都在180s以内,能够满足湿度传感器的应用需要。
湿度传感器 金属盐 掺杂改性 介孔二氧化硅 湿敏特性
贺媛 王蕊 张彤
集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春,130012
国内会议
杭州
中文
102-104,111
2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）