声表面波气体传感器发展概况
声表面波气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式。比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题；声表面波与气相色谱联用的气体分析仪灵敏度高、可检测气体种类多、很好地解决交叉干扰问题,特别适合于复杂大气背景条件下的气体成分分析。文中介绍了两类声表面波气体传感器的发展概况。
声表面波 气体传感器 敏感膜 气相色谱 气体成分分析 交叉干扰
何世堂 李顺洲 王文 刘久玲
中国科学院声学研究所,北京,100190
国内会议
杭州
中文
117-120,147
2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）