与气相色谱仪联用的声表面波传感器

摘要：

文中介绍了一种与气相色谱仪联用的声表面波气体传感器。传感器由声表面波谐振器作反馈单元的振荡器和半导体制冷器组成。谐振器采用ST-X石英压电基片上双端对谐振式结构,Q值高(1896)、插入损耗低(4.7dB)。采用在最低损耗点进行相位匹配以改善振荡器短期频率稳定度的方法,其短期频率稳定度达到了11Hz/s(10-8量级)。与气相色谱联用的气体检测试验给出对苯蒸气的检测下限约为150ppb。

关键词： 声表面波 气体传感器 气相色谱仪 气体分析仪

作者: 李顺洲 朱佐刚 刘久玲 刘明华 胡玢 何世堂

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京,100190 北京市劳动保护科学研究所,北京,100054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 121-122,126

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）