波导层不连续的Love波延迟线
Love波传感器的波导层和吸附层通常是不同材料的,一般先在整个器件表面覆盖一层声波导层材料,然后在感应区域对应的波导层上涂镀吸附层,但是这样会增大延迟线的插入损耗。文中设计了一种不连续波导层的Love波延迟线,即在感应区域,吸附层直接镀在压电基片上,同时兼作声波导层；在其他区域覆盖声波导层材料。实验器件制作在ST-90°X石英晶体上,中间感应区域用Au作波导层和吸附层,其他区域采用SU-8光刻胶作声波导层,结果表明,采用这种结构的延迟线可以降低损耗2dB以上。
Love波传感器 延迟线 波导层
刘建生 刘明华 何世堂
中国科学院声学研究所,北京,100190
国内会议
杭州
中文
125-126
2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）