NiO基厚膜NO<,2>传感器的研制

摘要：

文中分别以化学沉淀法、柠檬酸法和均相沉淀法制备了NiO纳米材料,通过XRD方法对所制备材料的晶体结构进行分析表征。并以上述不同方法制备的NiO为基体材料,Cr2O3、WO3为掺杂剂制作了电导型厚膜NO2气体传感器。研究了工作温度、掺杂剂等对器件气敏性能的影响。结果表明：掺杂WO3的NiO基厚膜传感器对NO2有较高的灵敏度、良好的选择性及响应特性,并且对器件的敏感机理做了初步的分析。

关键词： 气体传感器 电导型厚膜 纳米材料 氧化镍 气敏性能

作者: 钟铁钢 梁喜双 刘凤敏 卢革宇 全宝富

作者单位: 集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春,130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 143-145,181

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）