基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器

摘要：

对红外吸收型气体传感器的工作原理进行了分析,设计了一种基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器。并对设计的传感器进行了实验验证,结果显示在通入浓度为20ppm的H2S气体时能达到40的信噪比,测量结果准确；在低浓度时测量有一定的偏差，测量的浓度波动小于3ppm。

关键词： 高精细腔 红外吸收光谱 气体传感器 工作原理 测量浓度

作者: 刘英明 王健 俞大海 顾海涛 高秀敏

作者单位: 杭州电子科技大学电子信息学院,浙江杭州,310018 杭州电子科技大学电子信息学院,浙江杭州,310018;聚光科技有限公司,浙江杭州,310052 聚光科技有限公司,浙江杭州,310052

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 146-147

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）