微双桥结构氢气传感技术研究

摘要：

基于催化燃烧式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3膜加工成微双桥结构载体,采用平面薄膜工艺制做铂薄膜热敏电阻,涂敷Al2O3-ZrO-Th0-Pd和Al2O3-ZrO-Th0形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,实现在微双桥上催化桥臂和补偿桥臂的单片集成,制作出氢气传感器.测试结果表明：传感器可实现体积分数0～40000×10-6氢气检测,具有线性输出特性,温度为5～45 ℃的传感器的最大零点输出优于±1.0”％”。

关键词： 微双桥结构 氢气传感器 催化桥臂 补偿桥臂 单片集成 线性输出特性

作者: 张洪泉 范茂军

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 150-152

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）