一维纳米金属氧化物半导体材料气、湿敏特性的研究

摘要：

分别采用水热和静电纺丝法制备出一维ZnO、TiO2、SnO2纳米材料,并对其气、湿敏特性进行了研究。结果表明一维纳米材料具有非常快的响应恢复速度：水热法制备的花状ZnO纳米棒束由11”％”RH到95”％”RH的响应时间约为5s,恢复时间约为10s；静电纺丝法制备的掺杂KCl的TiO2纳米纤维由11”％”RH到95”％”RH的响应时间为3s,恢复时间约为4s；静电纺丝法制备的SnO_2纳米纤维对50ppm(1ppm=10-6)甲苯气体的响应时间仅为1s,恢复时间约为5s。

关键词： 一维纳米材料 金属氧化物半导体 气敏特性 湿敏特性

作者: 张彤 刘奎学 漆奇 卢革宇

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春,130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 155-157

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）