基于MEMS技术梁膜结合压阻式加速度计的设计
提出了一种压阻式加速度计的新结构模型,采用梁膜结合结构方式,提高了低量程微硅压阻式加速度计的固有频率,减小了挠度对加速度计输出线性度的影响。通过有限元ANSYS仿真软件对结构模型进行静态和模态分析,发现在相同的负载条件下,新结构与传统结构相比,其固有频率平均提高了39”％”,挠度平均下降了39”％”,并对影响灵敏度、固有频率等主要指标的因素讨论分析,确定传感器的电阻分布和结构参数,对其结构进行优化.最后设计了版图及一套可行的工艺流程,采用各向异性化学腐蚀技术在单晶硅上制作压阻式加速度计,并与玻璃衬底阳极键合,从而提高加速度计的可靠性。该加速度计具有小尺寸、高频响、高精度的优点。
微电子机械加工 压阻式加速度计 梁膜结合结构 有限元分析
张玲 赵玉龙 蒋庄德 田边
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西西安,710049
国内会议
杭州
中文
167-170
2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）