超低温薄膜压力传感器的研究

摘要：

超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量,目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200 ℃。文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究,通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究,成功研制出超低温薄膜压力传感器,并在-253(液氢)～+60 ℃温度环境下进行压力传感器静态性能测试,结果表明传感器性能指标优异,实现了超低温薄膜压力传感器技术突破。

关键词： 超低温薄膜 压力传感器 静态性能

作者: 李小换 邹其利 张世名

作者单位: 航天长征火箭技术有限公司,北京,100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 171-174

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）