压力、温度复合传感器技术研究

摘要：

介绍了一种压力、温度复合传感器的主要研制加工技术。通过采用灵敏度温度自补偿技术、激光调阻技术、以及薄膜微电路加工工艺等关键技术和手段,在弹性体上制作薄膜应变电阻和薄膜温敏电阻,实现压力、温度双参数测量的功能.同时通过监测温度,可以进一步精确修正压力参数测量的特性方程。

关键词： 压力传感器 温度传感器 复合传感器 薄膜应变电阻 薄膜温敏电阻 参数测量

作者: 邹其利 滕纲 李小换 张世名

作者单位: 航天长征火箭技术有限公司,北京,100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 175-177

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）