MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器

摘要：

文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量,并且适合于批量制造。

关键词： 微电子机械加工 智能化硅压阻 智能校准补偿 汽车压力传感器 温度校准

作者: 毛超民 王政平 王冰 任峰

作者单位: 昆山双桥传感器测控技术有限公司,江苏昆山,215325

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 178-179,198

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）