石英振梁加速度计微细加工工艺研究

摘要：

介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺.对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr-Au掩蔽薄膜的沉积工艺,从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素,提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中,强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性.并对其带来的影响进行了分析。

关键词： 石英振梁加速度计 微细加工 薄膜沉积 湿法腐蚀

作者: 陈巍 闫海 杨贵玉 陈圣广 周建发 向毅

作者单位: 航天长征火箭技术有限公司,北京,100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 199-201,290

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）