厚膜混合电路的激光调阻技术

摘要：

文中重点论述了厚膜混合电路的激光调阻机理、激光调阻系统的结构、调阻工艺及参数、调阻工作程序、切割类型、切槽缺陷分析及合格切槽要求等方面的内容,对厚膜混合电路的激光调阻具有重要的指导意义。

关键词： 厚膜混合电路 激光调阻 系统结构 工艺参数 工作程序 切割类型 切槽缺陷

作者: 李颖 林洪 陈琳 王雪冰 张娜 张治国

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳,110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 202-204,207

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）