聚二甲基硅氧烷气动微型蠕动泵制作工艺的研究

摘要：

聚二甲基硅氧烷(PDMS)气动微型泵由3个PDMS气动微阀构成,依靠3个微阀的蠕动作用实现输运液体的作用。PDMS气动微泵的关键制作工艺是液体通道的弧形化和PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接。实验证明AZ4620正性光刻胶所制作的阳模能形成剖面形状呈弧形的液体通道。采用等离子体氧化处理法封接技术实现了PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接,该工艺易操作,封接速度快,而且封接效果好。

关键词： 聚二甲基硅氧烷 气动微型蠕动泵 制作工艺 液体输运 等离子体氧化 封接技术

作者: 关艳霞 王宏 徐章润

作者单位: 沈阳工业大学信息学院,辽宁沈阳,110023;东北大学分析科学研究中心,辽宁沈阳,110004 沈阳工业大学信息学院,辽宁沈阳,110023 东北大学分析科学研究中心,辽宁沈阳,110004

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 210-211

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）