复合钝化多晶硅纳米膜应力分布仿真分析

摘要：

多晶硅纳米薄膜具有优良的压阻特性,为提高其在传感器应用中的稳定性和可靠性,对这种薄膜的钝化层结构进行了研究.基于压力传感芯片的结构特点,建立了钝化层结构的有限元分析分析模型,给出了应力分布与SiO2和Si3N4钝化层结构之间关系。结果表明：采用Si3N4-SiO2-Si3N4复合钝化结构,适当控制各结构层厚度可有效降低热失配引起的内应力。从而给出了降低薄膜内应力的钝化方法,为多晶硅纳米薄膜在压阻式传感器上的应用提供了必要的技术支持。

关键词： 多晶硅纳米薄膜 压阻特性 应力分布 压力传感器 钝化层结构 有限元分析

作者: 揣荣岩 张大为 孙显龙 刘斌 李新

作者单位: 沈阳工业大学信息科学与工程学院,辽宁沈阳 110178

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 215-217,224

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）