一种新型的硅谐振式微传感器频率特性测试系统

摘要：

针对硅微机械谐振式压力传感器,设计了一种新型的专用频率特性测试系统,采用直接相关原理进行微弱信号检测,简化了模拟电路设计；提出了分时正交的检测方法解算被测样件的幅频、相频特性。实验结果表明：系统实现了对硅微机械谐振式压力传感器的幅频和相频特性的同时测量,实测结果与理论值符合,不仅给出了闭环设计的必要参数,同时为加工工艺的改进提供了重要信息。

关键词： 谐振式传感器 压力传感器 频率特性 测试系统 微弱信号检测

作者: 汤章阳 樊尚春 蔡晨光

作者单位: 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100191 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100191;中国科学院传感技术联合国家重点实验室,上海,200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 238-240

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）