OEM压阻芯片性能测试及装置

摘要：

OEM压阻芯片性能测试装置由2个平台构成,即硬件平台和软件平台,具有自动测试芯片性能和控制探针台功能。OEM压阻芯片性能测试可实现4寸(1寸=2.54cm)芯片上近千个传感器图形的性能测试.每个图形测试项目包括桥路电阻、失调电压、漏流、击穿。对测试项目的合格判定标准实现了开放式管理,可根据不同类别的传感器芯片,设置不同的合格判定标准；在击穿电压测试项目中,对反向偏置电压设置实现了开放式管理,可根据不同的要求,设置不同的反向偏置电压,方便了应用。

关键词： OEM压阻芯片 性能测试 传感器图形 判定标准 反向偏置电压

作者: 匡石 冯艳敏 郑东明 徐长伍 张玉喆

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳,110043 辽宁大学计算机信息学院,辽宁沈阳,110036

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 246-248,258

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）