硅电容差压传感器在振动中的问题分析

摘要：

介绍了硅电容差压传感器在振动试验中出现的问题及问题分析。通过对不同的振动方向和不同振动量级的试验结果对比,得出试验样品最敏感的失效方向。并对试验样品失效的量级及内部结构进行综合分析,给出了振动量级与产品断裂应力的对应关系式,提出对产品结构的改进建议,并进行验证试验。

关键词： 硅电容差压传感器 随机振动试验 失效方向 振动量级 断裂应力 产品结构

作者: 杜健 张玉杰 苑庆迪 张立佳 宋洋 宋林红

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳,110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 255-258

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）