两维碰撞加速度传感器及其实用化

摘要：

基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500g的量程下,灵敏度达到0.3mV/g/5V,固有频率15kHz。传感器贴装在PCB板上,由经济实用的放大电路进行处理,可以实现两维的加速度测量,电压输出1～4V,带宽500Hz。传感器在车辆运输等实际环境下进行了试用,性能可靠稳定,具有良好的实用化前景。

关键词： 加速度传感器 碰撞冲击测量 两维碰撞 MEMS加工 模块化封装

作者: 周伟 刘民 姜伟 李昕欣

作者单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 287-290

在线出版日期: 2009-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）