会议专题

声表面波角速率传感器的理论与数值分析

本文以Christoffel方程和Coulomb定理电学方程为基础,结合压电方程,研究了声表面波角速率传感器的工作原理,利用MATLAB语言编制了数值求解的程序求解包含哥氏力的波动方程,对声表面波器件所常用的三种压电材料:XY112°-LiTaO,、YZ128°-LiNbO3和ST-SiO2进行了数值计算,分别得到了它们波速相对偏移量分別为△V/V=1.11ppm/r/s,△V/V=0.91pprm/r/s,△V/V=0.75ppm/r/s。由于△V/V=△f/f,因此可以得到相对频率偏移量为△f/f=1.01ppm/r/s,△f/f=0.91ppm/r/s,△f/f0.75ppm/r/s。研究表明:使用XY112°-LiTaO3,作为声表面波角速率传感器的基底材料,可以得到较高的灵敏度及较好的分辨率。

声表面波传感器 角速率 声表面波器件 哥氏力 数值计算 波动方程

朱嘉林 李永刚 李业隆

北京信息科技大学传感技术研究中心,北京 100101 北京工商大学基础部,北京 100037

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第十九届全国测控、计量、仪器仪表学术年会

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2009-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)