声表面波角速率传感器的理论与数值分析
本文以Christoffel方程和Coulomb定理电学方程为基础，结合压电方程，研究了声表面波角速率传感器的工作原理，利用MATLAB语言编制了数值求解的程序求解包含哥氏力的波动方程，对声表面波器件所常用的三种压电材料：XY112°-LiTaO，、YZ128°-LiNbO3和ST-SiO2进行了数值计算，分别得到了它们波速相对偏移量分別为△V/V=1.11ppm/r/s，△V/V=0.91pprm/r/s，△V/V=0.75ppm/r/s。由于△V/V=△f/f,因此可以得到相对频率偏移量为△f/f=1.01ppm/r/s,△f/f=0.91ppm/r/s,△f/f0.75ppm/r/s。研究表明：使用XY112°-LiTaO3，作为声表面波角速率传感器的基底材料，可以得到较高的灵敏度及较好的分辨率。
声表面波传感器 角速率 声表面波器件 哥氏力 数值计算 波动方程
朱嘉林 李永刚 李业隆
北京信息科技大学传感技术研究中心，北京 100101 北京工商大学基础部，北京 100037
国内会议
桂林
中文
460-463
2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）