微波功率器件测试中的探针SOLT校准技术

摘要：

本文论述了微波半导体器件在参数测试过程中由于引入测试夹具及测试探针而带来的误差修正技术,以及测试仪器在连接测试探针情况下而采用的SOLT(短路、开路、负载、直通)校准的技术.采用上述方法可明显提高微波半导体器件参数的测试精度及精确度.

关键词： 微波功率器件 微波半导体 参数测试 误差修正 SOLT校准

作者: 朱学波 郭敏 梁胜利

作者单位: 中电科技集团第41研究所,青岛,266555

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十九届全国测控、计量、仪器仪表学术年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 85-89

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）