一种探测传感器式的扫描力显微镜的研制

摘要：

本文主要介绍了用于扫描力显微镜并带动探针运动的扫描器的研制.利用该扫描器,研制了能安装在纳米测量机上作为探测传感器的上扫描力显微镜.扫描力显微镜与中科院化学所本原纳米仪器公司的扫描探针显微镜控制器联接进行实验测试,在23μm×23μm×5μm的扫描范围对样品进行了扫描成像.经测试、分析和计算,在全量程扫描范围内横向和纵向分辨力分别为O.35nm和0.1m、在未有任何软件和硬件补偿的情况下横向满量程扫描范围内精度为5”％”.

关键词： 扫描力显微镜 纳米测量机 探测传感器 扫描器 控制器

作者: 陈晓梅 马晓苏 朱振宇 杨德良

作者单位: 中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京,100095 中科院化学所奉原纳米仪器公司,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十九届全国测控、计量、仪器仪表学术年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 359-365

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）