激光聚集方法在纳米计量领域的应用

摘要：

本文主要描述激光聚焦方法在纳米计量领域的应用。利用该方法在纳米测量机平台上对各种标准台阶进行测最验证,并对测量过程中对结果造成影响的因素做出不确定度分析,测量结果通过En评估法与国际计量机构(如PTB和NIST)提供的标准值比对后得出所有En比对值均低0.5,从而证实该方法对台阶测量是非常有效的.

关键词： 激光聚焦方法 纳米测昔机 纳米计量 不确定度分析

作者: 谢初南 傅云霞 李源

作者单位: 上海市计量测试技术研究院,201203

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十九届全国测控、计量、仪器仪表学术年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 190-195

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）