现代真空镀膜机电气控制系统的设计与实现

摘要：

真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备.论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成.结合镀膜工艺流程,对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计.同时介绍了PLC的选型,最终实现了以欧姆龙PLC为核心的现代真空镀膜机控制系统.该电气控制系统具有手动/自动控制、故障报警等功能.系统经过了实验室和现场的两步调试,解决了潜在问题.最终生产实践证实了该系统的可行性,实现了工艺要求,满足了客户需求.

关键词： 真空镀膜机 电气控制 故障报警

作者: 丁雪成 冯震宇 吴丽颖 单允章

作者单位: 西南交通大学电气工程学院,成都,610031 北京北仪创新真空技术有限责任公司,北京,102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十九届全国测控、计量、仪器仪表学术年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 322-325

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）