ITO导电氧化物薄膜椭偏光学性质研究

摘要：

氧化铟锡(ITO)薄膜是一种透明导电薄膜，在光电子行业具有广泛地应用。本文通过本公司的椭圆偏振光谱仪测量分析了生长在BK7玻璃上的ITO薄膜的紫外可见光谱(型号：SC620)和中红外区(型号：SC640)的椭圆偏振光谱，得到了该区域的光学常数，并根据拟合参数得到了ITO薄膜的电阻率等电学参数，发现这些电学参数与实际测量值非常一致，说明了拟合模型非常适合ITO薄膜，薄膜的电学性能可以通过光学测试得到。

关键词： 氧化铟锡薄膜 导电氧化物薄膜 电学性能 椭偏光学 紫外可见光谱 椭圆偏振光谱

作者: 胡菊芳 王佩琳 黄正义

作者单位: 上海三科仪器有限公司 上海市上中路303号 200231

会议类型: 国内会议

会议名称: 第18届全国光谱仪器与分析监测学术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 207-212

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）