溅射气压对BST薄膜光学性质的影响
采用射频磁控溅射法在石英衬底上制备了占Ba0.8Sr0.2TiO3(简称BST)薄膜,X射线衍射((XRD)和原子力显微镜(AFM)表表明在2.0 Pa下沉积的BST薄膜为非晶态,随着沉积气压的升高,薄膜的晶化得到明显的改善。采用包络法计算了薄膜的光学常数,结果表面,当入射波长为650 nm时,BST薄膜的折射率在1.9左右。2.0 Pa溅射得到的BST薄膜的光学带隙为4.18 eV,而当溅射气压为4.0 Pa和6.0 Pa时,薄膜的带隙降低到了3.8 eV左右。BST薄膜光学带隙的蓝移与薄膜的微结构的变化有关。
磁控溅射 光学常数 光学性质 非晶态薄膜
王军 华全 白凌云
江西科技师范学院 材料科学与工程学院,江西 南昌 330013
国内会议
桂林
中文
410-412
2009-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）