Stencil/Mask AOMI系统设计
本文从分析AOI市场新需求出发,结合本公司在该领域的技术积累,提出了针对Stencil/Mask微细尺寸高精度测量和产品缺陷快速检测功能相结合的Stencil AOMI系统解决方案,重点介绍了Stencil AOMI系统的测晕功能(M)和检测功能(I)开发的新思路及技术特点,并系统地介绍了Stencil AOMI解决方案,最后给出了Stencil AOMI在实际生产中的具体应用实例及客户的MAC评审结果。
自动光学检测 测晕功能 检测功能 产品缺陷检测
夏发平 宁军 魏志凌
昆山思拓机器系统有限公司
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230-234
2009-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)