应用优势明显的微聚焦X-Ray检测技术

摘要：

X射线技术是一项成熟的老技术，从1895年德国物理学家伦琴发现X射线(又称伦琴射线)起，对于X射线的研究与运用已经历了一百多年的时间。本文对2006年国际半导体和电子封装的预计的发展路线图进行了分析，探讨了微聚焦X-Ray检测技术，浅谈了取得的成效。

关键词： 电子封装 产品检测 X射线技术 半导体基片

作者: 刘骏 昊懿平

作者单位: 深圳日联科技有限公司 华中科技大学材料学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009中国高端SMT学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 415-424

在线出版日期: 2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）